上海离子氮化炉电话「多图」

湖北丰热科技有限公司原武汉离子热处理研究所，制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

操作比气体渗氮复杂，需要控制的厂艺参数多，测量温度和控制温度均匀比较难；装炉有严格要求，装炉-或形状不同、大小不同的零件混装炉容易出现渗层不均匀等疵病，造成废品或返修；设备费刚贵，有时需要配置辅助阳极等。

?选用正弦波中频靶电源，由于波形的原因，靶面产生打弧的几率-并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层要求较高的溅射工艺。??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2pa)。当电子能f提高，也就是增强电场的操作参数，则能使电晕放电过渡到辉光放电。??

在放电开始前间隙中必须存在大量的种子电子，而长寿命的亚稳态及其彭宁电离可以提供这些种子电子。根据10ns暴光的iccd拍摄的放电图像，radu小组发现，在-压惰性气体he、ne、ar、krypton的dbd间隙中，可以实现辉光放电。