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湖北丰热科技有限公司
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湖北丰热科技有限公司原武汉离子热处理研究所,制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
一种化学热处理炉,尤其涉及一种新型多功能辉光离子渗氮炉。该辉光离子渗氮炉包括内隔热屏,在内隔热屏内壁上装有-体,-体与电极间采用螺栓联接,-体与内壁由陶瓷绝缘体隔离绝缘,绝缘体由螺栓固定在隔热屏内壁上。
用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双极性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。?双极脉冲中频靶电源用于辉光放电?。矩形波或正弦波中频靶电源进行1气体辉光放电有很多共同特点
在放电开始前间隙中必须存在大量的种子电子,而长寿命的亚稳态及其彭宁电离可以提供这些种子电子。根据10ns暴光的iccd拍摄的放电图像,radu小组发现,在-压惰性气体he、ne、ar、krypton的dbd间隙中,可以实现辉光放电。